碳化硅脫脂燒結(jié)一體爐
產(chǎn)品介紹
碳化硅脫脂燒結(jié)一體爐主要用于粉末成型碳化硅制品的脫脂、燒結(jié)處理。該設(shè)備采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制及人機(jī)交互系統(tǒng),對溫度、壓力、流量等各個(gè)變量精準(zhǔn)控制,使產(chǎn)品質(zhì)量有明顯改善。
產(chǎn)品參數(shù)
裝料空間(D*H) |
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φ400*1200 |
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φ500*1800 |
最高工作溫度 |
2350℃ |
極限真空 |
1Pa |
真空泄漏率 |
≤5×10-3mbarl/s |
真空泵組 |
旋片泵+羅茨泵 |
脫蠟率 |
≥98% |
抽氣速率 |
≤20min |
升溫速率(滿載、<1000℃) |
≤10℃/min |
升溫速率(滿載、≥1000℃) |
≤6℃/min |
低溫段溫度均勻性 |
≤±5℃ |
高溫段溫度均勻性 |
≤±4℃ |
測溫方式 |
Wre5-26雙芯熱電偶+紅外測溫儀 |
加熱區(qū)數(shù) |
三區(qū)/四區(qū) |
工藝氣體種類 |
Ar、N2 |
電源 |
三相五線制 AC380V±10%/50HZ |
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以上參可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。 |
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