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地址:
湖南省株洲市天元區泰山西路2008號聯(lián)合廠(chǎng)房八

氮化硅粉體燒結爐
產(chǎn)品介紹
高端氮化硅粉體燒結爐具有H2安全保護、防竄氣技術(shù) 、多段溫度曲線(xiàn)設定,多種氣體流量自動(dòng)精準控制(無(wú)需人工調節)、脈沖式充氣、氣體循環(huán)控溫、發(fā)熱體衰減檢測、發(fā)熱體漏電監測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產(chǎn)。
產(chǎn)品參數
裝料空間(W*H*L) 500*500*1800
最高溫度 1600℃
最高工作壓力 0.9bar
極限真空度 0.5pa
真空泄漏率 ≤5×10-3 mbarl/s
真空泵組 旋片泵+羅茨泵
升溫速率
(滿(mǎn)載、≥1500℃)
≥8℃/min
溫度均勻性 ≤±4℃
具備功能 真空燒結、靜態(tài)燒結、氣氛燒結、急速冷卻
工藝氣體種類(lèi) H2  N2  Ar


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